אפלייד מטיריאלס משיקה את מערכת ה-SEMVision G7 החדשה בעלת יכולות תמונה חדשות ובינת Machine Learning

אפלייד מטריאלס

מערכת SEMVision G7 היא כלי בקרה ואנליזת פגמים Defect Review SEM)) היחיד המפיק תמונות ברזולוציה גבוהה ובעל יכולת סיווג פגמים אוטומטי (ADC) מבוססת Machine Learning מוכחת בייצור סדרתי.

מערכת סיווג הפגמים האוטומטית, Purity™ II ADC, משפרת יכולות Machine Learning ע"י אלגוריתמים מתקדמים לצורך סיווג וניתוח פגמים בזמן אמת.
שילוב Design Data,נתוני תוכן הנדסיים של השבב,במערכת סיווג הפגמים האוטומטית ADC מאפשר האצת אנליזת הפגמים וקיצור הזמן הנדרש לייצוב הייצור והגדלת התפוקה.

אפלייד מטריאלס בע"מ, מכריזה על טכנולוגיות חדשות לבדיקת וסיווג פגמים עבור משפחת SEMVision™ המאפשרים האצת ייצור המעבדים ושבבי הזיכרון.
מערכת SEMVision G7 החדשה של אפלייד היא כלי ה-DR-SEM (כלי בקרה ואנליזת פגמים מבוסס מיקרוסקופ אלקטרונים Defect Review SEM) היחיד המשלב את היכולת להפיק תמונות של הפגמים ברזולוציה גבוהה עם יכולת סיווג מבוססת Machine Learning מוכחת - יכולת זו מאפשרת ליצרני השבבים סיווג מהיר של הפגמים, זיהוי הגורמים להם ובכך מסייעים לפתור בעיות תפוקה ולשפר את תהלך הייצור.

"ככל שתכנון השבבים נעשה מתקדם ומורכב יותר, כך גם אתגרי הייצור. יצרני השבבים מחפשים דרכים לקצר את משך הזמן עד לייצוב הייצור והשגת תפוקה אופטימלית, אמר עופר גרינברגר, סגן נשיא ומנהל חטיבת Process Diagnostics and Control באפלייד מטיריאלס. "מערכת SEMVision G7 מרחיבה את יכולת הדימות של אפלייד ומאתרת פגמים קריטיים החשובים ליצרנים, לרבות בשולי פרוסות הסיליקון (Wafer), אזורים שבהם פגמים שלא אותרו עלולים לפגום בתפוקת השבב. באמצעות אלגוריתמים חדשים שלMachine Learning, פגמים מסווגים ומנותחים בזמן אמת, כך שניתן להבטיח בקרת תהליך מדויקת ועקבית והגעה לתהליך ייצור יציב."

מלבד יכולות דימות ייחודיות בחוד פרוסת הסיליקון ובשוליה, מציעה מערכת ה-SEMVision G7 מקור אור משופר יחד עם מנגנון איסוף, המאפשרים איתור פגמים שגודלם עד ל-18 ננומטר בפרוסות סיליקון חלקות או שעברו תהליך כיסוי אחיד. זיהוי ואיפיון הפגמים על פרוסות הסיליקון החלקות מספק ליצרני שבבים מידע המסייע בקביעת מקור הפגם, והודות לכך האצת פתרון הבעיה.

טכנולוגיית סיווג הפגמים האוטומטית Purity™ II, המבוססת על מערכת Purity™ ADC, היחידה בתעשייה שהוכחה בסביבת ייצור, מרחיבה את יכולות ה- Machine Learning של SEMVision G7 ומאפשרת לה ללמוד שינויים בתהליך ולהתאים במהירות ובאוטומטיות את מנוע הסיווג הסטטיסטי. יכולת Machine Learning חדשה, משלבת נתוני תכנון הנדסיים עם תמונות SEM על מנת להפיק סיווג מבוסס-מיקום של הפגם ואנליזה מדויקת יותר מבחינה קונטקסטואלית – יכולת זו מאיצה את ניתוח הגורמים לפגם. אלגוריתם חדש לחילוץ פגמים קריטיים, מתעדף מיון של פגמים שהוגדרו מראש במנוע הסיווג על מנת להבטיח שהפגמים החשובים והמעניינים ביותר יודגשו וייוצגו בעדיפות גבוהה. הודות ליכולות ניתוח מהיר, מדויק ואוטומטי של הפגמים באמצעות בינת Machine Learning, מערכת סיווג הפגמים האוטומטית Purity™ II ADC מאפשרת ייצוב מהיר של תהליכי ייצור וניהול תפוקה הדוק יותר.

אפלייד מטיריאלס היא אחת מחברות ההיי-טק הבינלאומית החלוצות שקבעו את ישראל כמקום פעילות אסטרטגי. מרכז המו"פ והייצור בישראל מתמקד בפיתוח וייצור של מערכות מתקדמות לבקרת תהליך ייצור שבבים, והוא הגדול ביותר של החברה מחוץ לארה"ב. על פי הערכות אפלייד מטיריאלס, למעלה מ- 2 מיליארד שבבים עברו בשנה האחרונה במערכות הבדיקה של אפלייד שיוצרו בישראל. המערכות מיוצאות לכל רחבי העולם והן נמצאות כיום ב- 18 מדינות שונות בעשרות מפעלים. לאור צמיחה מרשימה ועקבית של החברה, גייסה אפלייד מטיריאלס בשנה החולפת מאות עובדים ועובדות חדשים והיא מציינת שיא במספר המועסקים בישראל עם כ- 1,400עובדים.

אודות אפלייד מטיריאלס (Applied Materials)
אפלייד מטיריאלס, אינק. (נאסד"ק: AMAT) היא המובילה באספקת פתרונות בתחום הנדסת חומרים המשמשים לייצור כמעט כל שבב חדש וצג מתקדם בעולם. המומחיות בהנדסת חומרים ברמת האטום עבור התעשייה, מאפשרת ללקוחות להפוך הזדמנויות למציאות. החידושים של אפלייד מטיריאלס מאפשרים לטכנולוגיה להפוך למציאות ולעצב את העתיד.
בישראל מעסיקה החברה כ- 1,400 עובדים, רובם בפעילות הפיתוח והייצור בתחום בקרת תהליך ייצור שבבים. המרכז בארץ, הממוקם בפארק המדע ברחובות, נחשב למרכז המו"פ והייצור הגדול ביותר של החברה מחוץ לארה"ב. למידע נוסף, בקרו ב- www.appliedmaterials.com.